티타늄 타겟의 응용

2000년경 유럽 연합은 "RoHS 지침"과 "WEEE 지침"을 고안하고 시행하기 시작했으며 전기 도금 제품에는 대안이 시급히 필요했습니다. 그래서 우리는 전기도금을 대체하기 위해 PVD 기술을 접촉하기 시작했습니다.

티타늄 타겟은 순수 티타늄 또는 티타늄 합금으로 만들어진 원형 또는 정사각형입니다. 여기서 "타겟"은 물리적 증발 또는 스퍼터링 공정과 관련된 분야에서 주로 사용되는 용어입니다. 티타늄 타겟은 제품 코팅을 위한 기초 물질을 제공하는 타겟 소재 역할을 합니다.

다양한 PVD 타겟 아래의 스푼 색상

PVD(물리적 기상 증착) 기술은 진공 조건에서 물리적 방법을 사용하여 물질 소스(고체 또는 액체)의 표면에 충격을 가하여 기체 원자 또는 분자로 기화하거나 부분적으로 이온화하여 저-에너지를 통과시키는 것을 말합니다. 압력가스(또는 플라즈마) 공정은 기판 표면에 특정 기능을 갖는 박막을 증착하는 기술이다. 물리기상증착(Physical Vapor Deposition)은 주요 표면처리 기술 중 하나입니다. 당시 가장 많이 노출된 타겟은 알루미늄 타겟, 티타늄 타겟, 금 타겟 등이었습니다. 그 당시에는 타겟 재료가 매우 비싸다는 것만 알았습니다.

오늘 우리는 순수 티타늄과 티타늄 합금을 포함하는 티타늄 타겟에 대해 주로 논의합니다. 티타늄 타겟은 우수한 내식성(산 및 알칼리 저항성), 고강도 및 저밀도, 우수한 생체 적합성, 고온 저항성 등과 같은 티타늄 자체의 우수한 특성을 가지고 있습니다. 타겟은 PVD 중에 "폭탄"됩니다. 티타늄 원자를 생산하는 공정이므로 표면 품질이 증착된 티타늄 필름의 품질에 큰 영향을 미칩니다. 따라서 일반적으로 타겟 물질은 충분히 평평하고 미세 균열이나 불순물이 없는 표면을 얻기 위해 미세하게 분쇄되어야 합니다. 이러한 방식으로 사용 중에 높은 스퍼터링 속도와 필름의 높은 순도를 보장할 수 있습니다.

고순도 티타늄 원형 타겟

티타늄 타겟 제조공정

티타늄 스폰지 선택(고순도 티타늄 스폰지 4N, 4N5, 5N)---진공 용해(VAR)(3개 용해)---단조---압연---황삭 가공{{ 8}}열처리---마무리- --제3자 검사---품질 검사---포장(진공 포장)---배송

티타늄 타겟의 적용 분야

1. 반도체 산업: 티타늄과 그 혼합물(질화티타늄, 산화티타늄 등)은 인터페이스 레이어, 고정 필름, 차단 레이어 등을 만드는 데 여러 번 사용됩니다. 반도체 장비에요. 실리콘 웨이퍼에 금속 필름을 저장하고 다른 전자 부품을 프레임 회로에 연결하는 데 매우 잘 활용될 수 있습니다.

2. 피복 산업: 티타늄 타겟은 PVD(실제 연기 설명) 및 CVD(물질 연기 증명)에 활용되어 생산적이고 견고한 코팅을 제공합니다. 이러한 코팅은 구조물에 태양열 제어 유리를 통합하고, 자동차 부품을 위한 내마모성 하드 코팅, 화석 에너지 장비를 위한 소비 안전 코팅 등 다양한 분야에서 활용됩니다.

3. 광학 산업: 광학 산업에서 티타늄 타겟은 지능형, 마모 및 산화 보증 특성을 지닌 필름을 만드는 데 사용됩니다. 몇 가지 명백한 응용 분야에는 안경 코팅, 카메라 초점 구성 요소, 망원경, 확대 렌즈 및 기타 정확도 도구가 포함됩니다.

4. 용량 가젯: 예를 들어 하드 서클과 같은 정보 용량 가젯에서 하드 플레이트의 매력적인 층은 일반적으로 따뜻한 안정성과 마모 저항이 뛰어난 슬림 티타늄 필름을 사용합니다.

5. 임상 장치 산업: 치과 분야에서는 PVD 혁신을 활용하여 치과용 인서트에 티타늄 필름을 저장하여 뼈와의 고정력을 업그레이드하고 생체 적합성을 더욱 발전시킬 수 있습니다.